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隔膜式真空阀和真空挡板阀性能特点

真空阀门的特点
真空阀门的基本特点是具有较高的气密封(密封可靠);对气流的阻力尽量小(即阀门的流导尽可能大);密封部件耐磨性好,能反复使用、寿命长;阀体材料及密封件放气量小;操作灵活,容易清洗安装,性能可靠、维修方便,此外,对于超高真空阀门还要求能耐高温烘烤(450℃);对节流阀要求能均匀调节气体流量。

隔膜式真空阀

常用真空阀门阀体的材料主要有金属和玻璃。手动真空阀门驱动手轮采用高强度塑料材料。玻璃真空活塞又称“考克”,一般用于玻璃真空系统、小型真空装置、真空计规管或校准系统上。优点是制作比较容易、使用方便,易于清洗观察,化学稳定和绝缘性好,放气量较小等。不足之处是由于玻璃的脆性及活塞弯口处涂一层油脂,故限制了它的使用范围,工业生产所需要的真空装置,如真空镀膜设备、真空冶炼设备、真空热处理设备、空间环境模拟设备、火箭发动机模拟设备、卫星表面带电模拟设备、粒子加速器及受控核聚变装置、重离子加速器等都采用金属阀门,真空阀门通常根据阀门的工作特性、传动原理、连接方式和用途等进行分类。

根据工作压力分:低真空阀门、高真空阀门、超高真空阀门。
根据用途分:截止阀、隔离阀、充(放)气阀、节流阀、换向阀、封闭送料阀等。
根据传动原理分:手动阀、手电两用阀、电磁阀、气动阀和液动式真空阀。
根据材料分:玻璃真空活塞(考克)、金属真空阀。
根据结构特点分:挡板阀、翻板阀、蝶阀、球阀,连杆阀、隔板阀、闸阀、双通阀、三通阀、四通直通阀和直通阀等。

隔膜式真空阀结构图

(1)隔膜式真空阀
隔膜式真空阀是利用阀杆将橡胶隔膜直接压在阀座上,用来截止或接通气流。它常装在被抽真空容器与各种低真空泵之间。典型的隔膜式真空阅结构图如图1所示。其动作原理是旋转手柄使阀杆向下运动,将橡胶隔膜直接压在阀座上,截止气流。反方向旋转手轮,阀杆向上运动,带动橡胶隔膜离开阀座,接通气流。
阀门主体采用铝合金铸造。结构简单、质量轻、体积小,密封性能良好。采用丁腈橡胶的隔膜真空阀,用于前级和预抽低真空管道上及温度一25~80℃的非腐蚀性气体。采用氟橡胶的隔膜真空阀,可用于高真空系统,使用温度范围为一30~150℃。

真空挡板阀结构图

(2)真空挡板阀
真空挡板阀的工作原理是阀板通过阀杆做上下运动而实现密封的。驱使阀杆运动的传动部件有手动、手电两动、气动三种方式。手动传动部件,以螺纹结构为主,也可以采用平凸轮结构。图2和图3分别为直角式、直通式真空挡板阀结构示意图。手动两用的传动部件,由电动机、蜗轮、蜗杆组成,并装有行程开关。当接通电源后,电动机按某一方向(如开启方向)旋转,通过蜗轮、蜗杆带动阀杆向上运动使阀板上升,当阀上升到一定高度时,行程开关自动切断电源,阀杆运动立即停止,反之亦然。手动时,松开手轮背帽,用手按一定方向转动手轮即可,图4为GDD型手、电两用真空挡板阀外形图。气动传动部件以压缩干燥空气为动力,通过电磁换向阀改变气路方向,推动汽缸活塞上下运动,带动阀杆上下运动,使阀板开启关闭,从而达到接通或停止气流的目的。

真空挡板阀有高真空挡板阀和超高真空挡板阀两种。高真空挡板阀用于高真空系统接通或截止气流。
适用压力范围:轴封为橡胶时为1.3×104~10Pa;

轴封为波纹管结构时为1。3×10-5~10Pa,工作介质温度:-25~80℃(密封件为丁腈橡胶);一30~150℃(密封件为氟橡胶)。阀体材料:碳钢镀镍或不锈钢;阀板密封材料丁腈橡胶或氟橡胶。超高真空挡板阀用于超高真空系统接通或截止气流。适用压力范围为1。3×10-3~105Pa。阀门开启状态,烘烤温度小于400℃;阀体材料为不锈钢;阀板材料为无氧铜;轴封处密封件材料为不锈钢波纹管。这两种真空挡板阀使用的工作介质为洁净的空气或对阀门无腐蚀的干净气体。不适合用在对金属有强腐蚀性和含有颗粒状态灰尘的气体情况下长期使用。

气动真空挡板阀

高真空挡板阀由于具有密封可靠、流导大、安全性好以及可手控、电控、气控等特点,形式多样,规格齐全,公称尺寸DN150~1200,结构合理等,因此,被广泛用于大、中型多种高真空装置的真空系统之中,如用于真空镀膜设备,真空热处理炉、真空钎焊、高真空电子束焊机、离子束刻蚀设备、空间环模设备等。

电动真空蝶阀实物图 气动真空蝶阀实物图

上面图片展示的是上海川沪阀门生产的部分电动真空蝶阀气动真空蝶阀实物图,真空效果好,可以远程实现开闭和调节流量大小,有需要请联系我司销售部。

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